二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9377244 待售

ID: 9377244
晶圆大小: 12"
优质的: 2002
Vertical anneal furnace, 12" H2 Anneal 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H扩散炉是一种先进的热处理工具,为电子设备提供高水平的高效可靠扩散。TEL Alpha 303i-H旨在满足最高的行业标准,包括:高性能、可靠的循环时间优化、多用途的实时控制以及降低的功耗、时间和成本。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H扩散炉是最苛刻的设备制造应用的最佳选择。Alpha 303i-H采用独特而优雅的宽轮廓设计,可提高峰值吞吐量并缩短周期。它采用了最新的伺服电子技术和先进的软件控制,能够对散装晶片和边缘框架进行快速和高度精确的热处理,具有无与伦比的均匀性和周期时间控制。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 实现了 3°C的优异温度均匀性,其大型不锈钢加热器块从零到1100°C的最高温度快速均匀加热。TEL Alpha 303i-H的其他特点包括;一个易于进入加热器块的人体工程学室内,一个高温无风扇强制对流系统,以实现卓越的均匀性,一个可调整的功率控制,允许在速度/温度控制下进行温度倾斜,一个具有超高压能力和可调流量的低压系统设计。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H也提供了一系列配件来提升其性能,包括;一个先进的全可编程控制器,带有用于用户友好操作的触摸屏;一个手动操作的磁盘式晶片支架,最多可安全容纳10个晶片;各种可移动的盒式晶片支架,最多可容纳25个晶片;一个提供改进样品均匀性的不锈钢网状屏幕;一个大型灵活安装的真空泵;以及钝化/蚀刻气体系统和盒子。Alpha 303i-H Diffusion Furnace是高端扩散应用的理想系统,为用户提供顶级的均匀性、可靠性和性能。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H具有卓越的温度均匀性、出色的温度响应能力以及强大而通用的工具,是先进设备制造必不可少的工具。
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