二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9394974 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H是为半导体和MEMS（微机电系统）制造中的高级加工应用而设计的扩散炉和配件。该设备采用超高温侧壁气体入口/出口,限值为600°C,并采用低成本、可靠且节能的气体分配选项,以实现快速加热和冷却速率。该炉配备了先进的多区、多大气、主动温度监测/控制系统。TEL Alpha 303i-H的最大基板尺寸为40mm2,具有出色的热均匀性和均匀性,在-20至1200 °C的范围内有0.2°C的波动。这样可确保整个温度范围内的热应力和均匀性最小化,而基板上的热梯度最小。该机组还具有高达300 °C的低顶表面温度，以及选择性长波长光学泄漏检测机等节电功能，以防止稀有昂贵的工艺气体不必要的损失。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H还有一个先进的主动温度监测/控制工具，具有独立的编程时间和多区控制器，具有高达八区的单温控制条件。它还包括一台大型计算机,具有客户历史记录、用户设置模式、事件日志、会议厅监控、自定义设置点控制、流程数据收集和列表文件功能以及多任务数据收集等多种高级功能。它还为任何温度波动和/或流程问题提供警报资产警告,使用户可以解决流程中的任何意外事件。该模型还具有低气压关闭、辐射检测、气体泄漏检测、紧急关闭和废气控制系统等先进的安全特性。它还有一个先进的冷却设备，在快速冷却时防止温度过冲，以及在工艺完成后可编程的冷却，以适当冷却腔室并节省能源。总体而言，Alpha 303i-H是一种高效可靠的扩散炉和附件，设计用于半导体和MEMS制造的高级加工应用，并具有多种安全和准确性的特点。