二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9411632 待售
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ID: 9411632
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
Furnace, 12"
Process: MTO
Exhaust box
AC Rack
Heater
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H是为半导体制造而设计的扩散炉及辅助设备。它提供了一种高效、可靠且经济实惠的方式来创建产量大且可靠性高的小型设备。该系统由具有特殊热和真空条件的腔室、晶圆座和闸门控制器组成。闸门控制器提供对室内温度、气流和压力的控制。TEL Alpha 303i-H采用三合一工艺气体溶液和新开发的气体分配装置。这种组合允许快速稳定的高通量沉积需要现代设备性能。加热室还有一个独特的"播放模式"，可以让用户重播过去食谱的模拟。这样可以对工艺配方进行微调和重现。晶片支架采用切削边缘CVD技术，采用嵌入式锯齿设计，不需要湿洗。载荷后基板表面的高精度平整度保证了基板在扩散过程中均匀均匀分布。该控制机还具有先进的PLC逻辑和一个彩色显示屏，用于监控进程数据。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H扩散炉的设计具有优异的温度稳定性和均匀性以及快速的冷却和加热速率。该工具配有两个气体入口和一个真空输出功能，用于安全和受控的过程。通过连接电源、控制器和资产级联,可以直接访问过程控制,从而节省时间和精力。所有的控制和安全功能都通过了高级HMI功能的TEL批准。阿尔法303i-H扩散炉是制造高质量、可靠、经济高效的半导体的理想解决方桉。具有宽广的温度范围、先进的工艺控制和自动操作，该型号为用户提供了一个无忧且易于使用的设备。从大批量生产到小批量原型生产，都能满足所有制造工艺的需求。此外,它旨在提高生产率、效率和性能。
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