二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606614 待售

ID: 293606614
优质的: 2005
LPCVD Furnace 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种扩散炉及配件,适用于半导体加工领域的多种应用。这款功能强大且可靠的设备具有多种功能,专为满足当今行业的需求而设计。特别设计的TEL ALPHA 303IK具有专利的低温/高压各向同性加热元件,保证高速退火,最高工艺温度3000 °C,均匀温度范围0°C-1960 °C。此特性还允许从0.01°C/min到20°C/min的各种加热速率。扩散炉带有均匀的压力分配系统,有助于在其加工室内均匀分配温度和压力,从而获得更准确、更一致的结果。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K配备了一个直观的软件界面,可以轻松操作并改进过程控制。它还配备了最先进的电气控制系统,使其能够在各种工艺温度下运行,具有灵活性和绝对精度。此外,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K能够容纳多达四个装卸系统,从而提高生产率。该扩散炉进一步配备了超温防护、氧气浓度控制、动力和炉监测继电器等尖端安全特性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK还内置了温度检测器,使用户可以轻松检测到工艺条件中的任何差异。此外,这款高品质、工程精良的机组还配有转运容器、排气系统、气量控制器、炉盖提升设备、全套服务套件等配件。这些组件共同设计为确保系统为操作员提供耐用、可靠且始终具有吸引力的解决方桉。综上所述,ALPHA 303 I K是一种先进可靠的扩散炉,可以处理半导体加工领域的广泛应用。它提供了多种特性,包括各向同性加热元件、易于操作和过程控制、可靠的电气控制系统、安全特性以及多种配件。因此,这种扩散炉在任何加工环境中都一定能达到并超出预期。
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