二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606615 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种扩散炉及相关配件，设计用于将各种基板转化为非常理想的条件。它是一种最先进的产品,具有卓越的设计和质量组件,可在过程中实现可靠、可重复的性能。TEL ALPHA 303IK的关键部件是耐热圆顶室、高性能电源和精密控制器。该腔室由符合人体工程学设计的辐射矩阵镜面不锈钢制成，具有优异的热辐射效果，可提高预热率和均匀性。腔室的墙壁用Min-K绝缘进行绝缘，以实现更高效的工艺。腔室内部是一个全尺寸的倾斜晶片船，用于为每个工艺步骤定位晶片。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的电源可提供高达500 W的功率,使设备强大到足以处理复杂的过程。它被设计为容纳三个不同的腔室加热区，允许灵活的过程温度。电源还配备了先进的脉宽调制（PWM）控制和高度精确的示波器，以提供对波形的严密控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK的精密控制器是一种多功能设备，允许精确设置和监控过程参数。它连接到热源、电源开关和温度感应装置，从而实现对工艺温度的最佳控制。此外,该控制器使用户能够将多个流程配方编程到系统中,从而便于按需复制流程。Alpha 303i-K不仅设计用于高精度扩散过程，而且还用于一系列其他过程，如热氧化、蚀刻和溅射。它能够蚀刻多达11个相同材料的不同部分，允许复杂的3D结构。其卓越的工艺控制也确保了所有样品的统一处理，使其成为定制零件和应用的可靠单元。总之，TEL Alpha 303i-K是一种可靠、高性能的扩散处理及相关过程机器。其优越的设计和卓越的过程控制能力使其成为需要精确和可重复性的用户的绝佳选择。