二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606616 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是半导体制造工艺中使用的扩散炉，是市场上最先进、最可靠的炉之一。TEL ALPHA 303IK是一种低温、高性能的扩散炉,可提供最大精度,尤其是薄膜应用。该模型为多步扩散过程提供了多达五个可编程段，能够以高精度和出色的均匀性制造可重现的氧化物厚度。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K扩散炉使用氮气进行吹扫，以浮船几何构造。上下船可以独立，因此允许不同区域的不同加工温度。该炉还包括一个先进的控制板与数字温度控制和计量监测过程。在炉体的背面、侧面和底部放置一系列加热元件，便于精确的温度控制和均匀性。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK的设计具有几个特点，以提高安全性和准确性，包括放热氧化室，以最大程度地降低爆炸风险，降低氧化物质的沉积速率。扩散船剖面为双密封，配有气箱，以保护过程不受污染。该船还用悬吊弹簧或楔子支撑，以稳定船并减轻热应力。此外，该炉还包括石英屏蔽加热器区、陶瓷屏蔽后热区和惰性缓冲区，以进一步提高工艺精度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K附有全套可选配件，包括但不限于热氧化湿板凳、无臭氧干蚀刻系统和金属CVD。其主要特点提供了极好的可重复性和可重复性，允许高产量。这种扩散炉还提供高通量，与6.5 "x 5.75"的腔室兼容。所有TEL产品都采用可靠的质量控制系统,以确保可靠的性能。这包括高级流程控制和专门的客户服务团队,他们可以提供专家建议和帮助。TEL ALPHA 303 I K包括24个月的保修,涵盖长达24个月的零件和人工,以实现前所未有的安心。