二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606617 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是为晶圆和器件热处理而设计的综合性扩散炉及配件。这种全自动设备非常适合用于绝缘体上硅（SOI）、复合半导体和MEMS设备制造。它具有较高的生产吞吐量、与现有制造工具的轻松集成以及卓越的设备质量。该303i-K具有一系列先进的工艺能力，包括快速热处理（RTP）、氧化物回流、金/金属回流和超热SiO2沉积。其强大的自动控制系统还提供高精度温度控制，在多个处理运行过程中实现精确的轮廓重复性和准确性。该机配备了独特的冷却单元，可减少热诱导应力引起的边缘介电损耗和扭曲。机器通过冷却晶片或器件的顶部和背面来操作,而侧面则根据所需的工艺轮廓保持加热。这确保了高效的热扩散，同时限制了不均匀或过度加热造成的任何损害。此外，303i-K还包括一系列先进的安全功能，包括防护罩和高度可靠的紧急停止工具。它最近通过了一个独立实验室的RoHS合规性认证,这使得它能够在世界许多国家使用。该机器还提供远程监控和维护功能,使用户能够访问实时产品性能数据。最后,303i-K具有灵活的操作模式,使用户能够根据特定设备的个别需求定制计算机设置。其直观的用户界面以及全面的文档,使没有任何经验的用户能够快速熟悉资产并充分利用其高级功能。总体而言，TEL ALPHA 303IK是热扩散和制造的有效解决方桉，提供了卓越的工艺精度和可重复性。