二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606619 待售

ID: 293606619
LPCVD Furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种扩散炉及其配件,为各种应用提供优越的批式真空炉加工。该工艺室特别为满足所有批次式扩散炉的需求而设计,采用不锈钢结构,带有耐热陶瓷天花板,加上内门和外门方便出入。内外涂上氧化铝,使其抗氧化。TEL ALPHA 303IK扩散炉设计用于高达2500 °C的最高温度处理,用于氧化、还原、杂质补偿和其他特殊热处理。它还具有可提高操作效率的直观功能,如预置热处理参数存储器、处理后自动冷却设置以及反转计时器。此外,该设备还通过其独特的I-Link功能提供精确和可重复的加热和冷却。通过联接操作,它实现了加热前的最佳调理,从而确保每批次以同样的方式完成。每个操作的信息都可以显示在处理器信息显示面板或相关PC上。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K扩散炉还采用高效强制空气冷却(FAC)进行更快的冷却,显着提高了生产率。此外,它的创新技术还有助于将废水保持在最低限度:它采用比例气流模式控制废气流量,还监测废气流量和压力,以防止工艺室浪费过多的废气。最后,TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K扩散炉配备了一系列可选的附件和选件,如自动装载机/卸载机和可选的晶圆托架、加热和冷却推车、供气系统和相关的管道系统,以及各种样品支架。此外,它还包括传感器系统和数据采集,从而能够精确监测热处理和其他参数。总而言之,ALPHA 303 I K是一款出色的扩散炉及配件解决方桉,具有卓越的特性,为用户提供卓越的加工和生产,具有最高的精度和可重复性。
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