二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606620 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种设计用于半导体制造工艺的高性能扩散炉及配件。它具有高达250 fph的最大扩散能力，并配有先进的温度控制器和用于精确温度和过程控制的均匀性控制。该炉采用自由基源扩散方法，结合低温、低成本高效的工艺和较短的晶圆加工时间。TEL ALPHA 303IK具有250 x 600mm的大腔室尺寸，带有一个大的自动燃气箱和一个气动可提升卡带装载机。优质的强制热风冷却系统提供高效的冷却，不会再循环热量，避免热气体污染。控制器提供可重复和稳定的高温控制。具有配方管理功能的内置流程跟踪系统存储和管理多达1000个流程数据项。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K旨在提高生产产量，适合量产需求。它可靠且带有免维护设计，消除了频繁的维护程序。该炉效率高，运行速度高达250 fph，大大缩短了工业生产过程的循环时间。气体箱和晶圆尺寸估计器（WSE）传感器提供精确的气体流量控制,减少气体消耗.此外，内置的自我诊断功能保证了一致的过程结果。TEL ALPHA 303 I K设计为在设备生产中提供最大的灵活性,并通过直观的7英寸彩色液晶触摸面板轻松更改过程。多层SSH （Secure Shell）网络/内存系统存储和管理多达500种配方,还允许远程过程监视和数据保留,以备将来检查。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种易于安装、低维护的扩散炉及配件。它是半导体制造工艺的理想选择，以合理的价格提供准确性、可重复性和可靠的性能。