二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606621 待售

ID: 293606621
优质的: 2005
LPCVD Furnace 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种扩散炉及相关配件,针对各种技术应用中使用的基材。该炉是扩散炉303-Series的一部分,是20世纪80年代日本扩散炉技术发展到现在工业规模广泛应用的早期实例之一。TEL ALPHA 303IK具有三区石英陶瓷室,能够达到1,000、1100和1200 °C的温度,可以精确控制扩散区。它被设计成放置在支架、办公桌或其他支撑物上,包括一个特殊的通风系统,以便安全地清除腔室中的排放物。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K使用单一的卤素或氙源来加热材料,虽然其他的加热源可以通过TEL或其他专门的制造商或供应商获得。腔室还设有一个八英寸的晶圆管,允许晶圆从腔室快速而精确地转移到实际扩散区。附加功能包括嵌入式控制器,可以用各种参数和设置进行编程,如温度、压力、加热速率、晶圆大小等等。利用嵌入式控制器,用户还可以轻松设置定时进程,从而实现腔室的自动化操作。TEL Alpha 303i-K的安全特性包括两套安全传感器,用于监测温度和压力,如果超过任何安全标准,可以关闭扩散室。此外,真空室包含许多传感器,包括压力和温度,在发生任何危险情况时可再次用于关闭熔炉。总体而言,ALPHA 303 I K是一种可靠且值得信赖的扩散炉,具有各种各样的特点,非常适合制造和工程过程。仔细的考虑和高效的加热器系统,以及它的安全特性使得TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K成为工业客户的理想选择。
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