二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293607142 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种扩散炉和辅助设备，设计用于半导体晶圆和光掩模生产、沉积和蚀刻以及快速热处理等多种应用。TEL ALPHA 303IK在节能平台中提供高性能和可靠的操作。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的扩散炉系统由三个电极、两个阴极和一个阳极支撑。阳极是为炉子提供高场强度的负偏压源.这两个阴极能够产生高达3KW的功率水平，使零件达到如此高的温度，同时消耗最小的功率。扩散炉是由一个高温熔炉组成；温度控制单位；用于读取炉内温度的温度计；在高温下引入惰性气体的冷却塔和空间；热心轴；电力供应，控制配电。高温熔炉内衬石英管，确保电流在扩散过程中均匀分布。温度计装有温度探头，能够实时准确检测炉内温度。冷却塔和空间允许熔炉在扩散过程后用氮气和氙气等惰性气体冷却。这是为了在各种条件下维持可靠的操作，尽量减少扩散过程完成后可能发生的氧化。气泡器、氧气传感器、泵、加湿器和抗静电笼等附件也与Alpha 303i-K兼容。提供了一个特殊的出口，以便在扩散过程后能够快速可靠地去除水基冷却剂和抗氧化剂。此外，TEL Alpha 303i-K还配备了警报和紧急关闭功能，确保在任何时候都能安全运行。总体而言，TEL ALPHA 303 I K是一种先进的扩散炉装置，提供可靠和高性能的运行，同时消耗最小的功率。这台机器结合了各种特点和配件，是各种应用的绝佳选择。