二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293618106 待售
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ID: 293618106
晶圆大小: 12"
LPCVD Furnaces, 12"
Process: MTO
Heater type: VMM-56-002
Non-load lock
Gases:
N2
SiH4
N2O.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K扩散炉及配件是专门为生产高质量的半导体器件而设计的可靠而先进的解决方桉。它是一种先进的加热系统,具有良好的沉积均匀性、温度精度和控制能力.303i-K模型包括一个扩散炉、crucibles、绝缘材料、波纹管、真空泵和电子柜。TEL ALPHA 303IK的扩散炉是一个不锈钢盒子,一侧是阳极,另一侧是阴极。它有一个23点加热元件,这是一个特殊的散热系统,在任何时候提供突出的均匀性。Crucibles由氧化铝和石英材料制成,容量为8 "x 8" x 24"。绝缘材料以石墨片和绝缘带的形式提供,具有良好的隔离和温度控制。波纹管是一种特殊的真空泵,与绝缘材料配合工作,在操作过程中保持所需的压力。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的电子机柜由多个元件组成,对炉的运行提供最佳控制。它包括一个具有多个用户友好显示器的控制面板,以及用于连接电源的电气连接器。此外,它还提供了一个手动操作的流量控制系统,用于调节室内的气体和压力流动。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK扩散炉及配件是生产优质半导体器件的先进但可靠的解决方桉。其特殊的加热元件具有出色的均匀性、温度精度和控制性能。它还具有一个方便的电子柜,高效的真空泵和绝缘材料,出色的隔离和温度控制。这种扩散炉和配件可靠,经济高效,提供卓越的效果和一流的性能。
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