二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293618667 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种先进的扩散炉，结合了高工艺性能和全套配件。该炉配备了几个先进的特点，使其能够精确控制温度和工艺参数。该系统非常适合外延、CVD、ALD等先进的半导体处理应用。该炉设有两个工艺源和两个独立的温度控制区。它还能够在扩散、批次或单晶圆模式下操作。这两个源能够输送300°C至1200°C的温度，使其适合各种半导体处理任务。集成加热室还具有高温均匀精度。气体溷合微调、压力和温度安全监控、自动气体关闭能力等附加功能进一步提高了系统的安全性。TEL ALPHA 303IK还附带了许多附件，如离子磨、负载锁和健壮的自动化封装。离子磨可用于精确蚀刻晶片。负载锁定可确保快速启动过程,并能有效利用过程气体。自动化包简化了炉的操作，允许用户轻松编程和调度配方。总之，TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K是一种先进的扩散炉，结合了高工艺性能、精确度和安全性以及一套坚固的附件。非常适合外延、CVD、ALD等高级半导体处理任务。此外,通过提供过程一致性和效率,离子磨、负载锁定和自动化软件包使系统更加方便用户。