二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293808461 待售
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ID: 293808461
优质的: 2003
Furnace, 12"
Process: Pyro
FUJIKIN LP-CVD
VOS-56-002 Heater
Signal tower
Buffer storage
Load port
FFU
ETC
FMS Port
Wafer transfer
Control board
GFC Panel
Operation panel
Hardware switch
Gas unit
Cooling unit
Temperature controller
EMO Unit
WAVES Controller
Hardware switch
Transformer
SCR Unit
SCR Controller
Boat elevator
Auto shutter
Scavenger
Manifold
Boat transfer
Boat stage
Gases: N2, O2, H2
Missing parts:
QUARTZ
Heater power cable
Power supply: 400 V
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K扩散炉是为单晶片扩散而设计的高性能、专业级炉。它为基板的输送和加工提供了一个超稳定的平台。该炉设计用于在小型和大型基板上进行多层蚀刻和沉积，最大晶圆尺寸可达8英寸。TEL ALPHA 303IK的核心是其节能的高温加热室，提供高达1400°C的温度，用于快速热退火和氧化。它采用直接驱动的高温石英灯阵列，在晶圆的整个表面提供均匀、一致的热分布。可调的阶梯式温度剖面可以准确控制整个炉房的温度梯度。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K具有重型机械机架，具有双离子体密封，确保高温下热和动力学性能均匀。它还配有一套配件，包括机器人元件、自动传感器阵列、独立的大气供应系统和直观的软件包，使用户可以轻松地对自己的设置进行编程。该炉配备了多种先进的安全特性，包括检测危险温差的多个温度探头，检测零件污染可能性的压力传感器，以及在紧急情况下停止该炉运行的真空中断开关。TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K与领先的精密洁净室自动化系统E- Clean™完全集成,非常适合洁净室环境和传统的制造环境。Alpha 303i-K旨在为高级扩散过程提供可靠、可重复且经济高效的解决方桉。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K扩散炉以其尖端的设计和先进的安全特性，是单晶圆扩散机械的巅峰之作。
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