二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293821540 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种高性能的扩散炉和辅助设备，设计用于设备制造和薄膜沉积。该系统旨在保证气体供应的均匀流动和产生热量的均匀分配。通过控制热的分布和控制其流动，该装置既能达到高热扩散速率，又能达到沉积过程。TEL ALPHA 303IK由两个主要部分组成；扩散炉和辅助机器。扩散炉是一个高温室，有石英石英衬里，温度范围高达1300摄氏度。它还包括一个石英钟罐和一个用于样品装卸的线杯。辅助工具包括调节气体流量的质量流控制器（MFC）和控制沉积参数的真空资产。扩散炉配有高精度气流控制模型，可以用时间、温度、压力等各种沉积参数进行编程。MFC的设计是为了调节气流，优化热扩散过程和均匀性。真空设备保证了沉积过程中电子运动的均匀性。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K配有高温范围的石英加热器，以方便扩散和沉积所需的高温。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK还包括一系列安全功能,例如温度和气体泄漏监视器、防止电气碎片的安全系统,以及发生事故时的自动断电功能。此外,用户友好的液晶显示屏使用户可以轻松访问设备的设置和参数。Alpha 303i-K用于器件制造和薄膜沉积应用，适用于半导体、LED等精密工艺。可靠、高效、节能，产生高产、优质成果。该机器围绕模块化体系结构进行设计,可轻松集成到现有系统中。