二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #82006 待售
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ID: 82006
Vertical Nitride Furnace, 12"
OHT Automation
12" SEMI Std – Notch
Wafer Notch Aligner
Carrier Type FOUP: Entegris A300
Buffer capacity: 16 FOUPS
Fork Material: 1+4 Al2O3 Standard
Boat type: (127) slots, 7mm pitch
Boat rotation: installed
Pedestal: Quartz + SiC
System Controller: WAVES
M560A Phase Furnace Temperature Controller
Heater Type: FTP VOS-56-003 4-zone / RT – 1050C
Process Pressure: 190mTorr
2-Boat type operation
Carrier I/D Reader: Asyst RF
Gas Distribution
Fujikin Manual Valve
Fujikin air-operated valves
Mikrolis filter
Kinetics (Unit) Digital MFC
MKS/Asahi Keiki Pressure Transducers
Soft backfill injector installed
Vacuum Exhaust Heated with MKS Heaters
CKD-VEC Vacuum pressure controller
Vacuum Gage – Pressure Controller MKS (Hot) Capacitance Manometer
Main Valve is CKD Combo
Water Cooled Trap
Rapid Cooling Unit
480VAC 3 phase 60 Hz, 250A
120VAC one phase 60Hz, 50A
Power box Top input entrance location
Gas System
N2O 0.5 SLM
N2 (spare) 5SLM
N2 (Spare 5SLM
SiH2Cl2 0.2SLM
NH3 2.2SLM
Pure N2 (130SLM)
N2 Purge Box
Pure N2 –3 1100SLM
Pure N2-4 500SLM
Rapid Cooling Unit
CDA
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K扩散炉是为单晶片扩散而设计的高性能、专业级炉。它为基板的输送和加工提供了一个超稳定的平台。该炉设计用于在小型和大型基板上进行多层蚀刻和沉积，最大晶圆尺寸可达8英寸。TEL ALPHA 303IK的核心是其节能的高温加热室，提供高达1400°C的温度，用于快速热退火和氧化。它采用直接驱动的高温石英灯阵列，在晶圆的整个表面提供均匀、一致的热分布。可调的阶梯式温度剖面可以准确控制整个炉房的温度梯度。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K具有重型机械机架，具有双离子体密封，确保高温下热和动力学性能均匀。它还配有一套配件，包括机器人元件、自动传感器阵列、独立的大气供应系统和直观的软件包，使用户可以轻松地对自己的设置进行编程。该炉配备了多种先进的安全特性，包括检测危险温差的多个温度探头，检测零件污染可能性的压力传感器，以及在紧急情况下停止该炉运行的真空中断开关。TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K与领先的精密洁净室自动化系统E- Clean™完全集成,非常适合洁净室环境和传统的制造环境。Alpha 303i-K旨在为高级扩散过程提供可靠、可重复且经济高效的解决方桉。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K扩散炉以其尖端的设计和先进的安全特性，是单晶圆扩散机械的巅峰之作。
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