二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9218065 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9218065
Vertical LPCVD furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种用于定制和经济高效扩散过程的扩散炉和配件。它为用户提供了一个高效可靠的设备,使其在整个晶片中达到均匀的杂质浓度。TEL ALPHA 303IK非常适合用于电子设备制造、光学、电力电子和MEMS制造等行业。它可确保快速、一致的扩散过程,可调节温度范围为400至1,400 °C。先进的Quartz Ultra HD Technology有助于在整个真空室中均匀分布温度,最大限度地提高工艺结果的准确性。该系统具有极其光滑、低失真和紧凑的真空室,可用于快速扩散过程。三级泵送由各种真空压力阀辅助,包括干式:0.5Pa;涡轮增压器:5Pa;和助推器:20Pa。高质量的背衬泵机能有效地清除压力较高的气体,并有助于降低颗粒数量。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K坚固先进的设计延长了耐用性,使其成为长期使用的完美选择,结果一致。为了进一步确保强大的流程,集成互锁和安全电路提供了全面的保护。ALPHA 303IK还允许广泛的定制流程设计。机器有一个自动化的基板持有者传输机制,它为用户提供在一个单一的工具中对点和线扩散过程的完全控制,允许他们的扩散过程的定制。此高级资产还通过直观的图形用户界面(GUI)提供了简化的操作。GUI实时提供全面的诊断信息,允许用户访问和监视其流程,以获得高效的结果。此外,软件允许用户从远程位置修改温度和压力设置。综上所述,ALPHA 303 I K为高效、经济高效的扩散过程提供了可靠的解决方桉。它具有坚固、用户友好的运行工具、可调节的温度以及可全面控制过程的直观GUI。该模型的灵活设置使其成为定制扩散过程的理想选择。
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