二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9250260 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是专门为生产先进半导体而设计的顶级扩散炉。该工艺能够提供卓越的温度均匀性、稳定性和工艺结果的可重复性。该炉配有Luminos质量流量控制器（MFC）、氧化物质量流量控制器（OMFC）、热线源（HWLS）、Chromel/Alumel/Albaloy-1热电偶和chromel/alumel/Albaloy-1/kapton热电偶等原位测量系统，能够对加工条件进行精确控制。TEL ALPHA 303IK的最高温度范围为1200 °C。它有一个石英管和一二压控系统，提供对病毒和灰尘具有抗性的强密封，以保持最大的清洁度，减少杂质引入加工环境。扩散炉配备了三区加热系统--丙烷区（又称红外区）、转移区和热线区。在丙烷区，丙烷气体被用作热源，以快速将基板提升到目标温度。然后使用转移区方便地将基板移入和移出炉子。热线区利用热线源确保温度均匀性。此外，该炉还配备了工艺监测器（PM-1）系统，为扩散过程的参数提供有价值的实时反馈。这使操作员能够在扩散过程中准确高效地监测和调整工作温度、气流和设备性能。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K还提供低粒子扩散性能、精确的温度控制以及先进的用户界面。这提供了一种快速而简单的方法来设置每个基板或清洁/蚀刻任务的扩散参数。总体而言，ALPHA 303IK扩散炉是一种高效可靠的仪器，旨在生产具有卓越性价比的高质量晶片。它是半导体器件批量生产的理想解决方桉，是现代集成电路制造中必不可少的工具。