二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9273544 待售
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ID: 9273544
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Diffusion furnace, 12"
GAS (N2, O2, TEOS)
L/L Type
Heater: VMM-56-002
No HDD
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是为半导体加工而设计的扩散炉设备。这是一个全面的自动化系统,具有60厘米方形水平炉和附件,从而允许最大程度的灵活性在制造和集成。TEL ALPHA 303IK单元的核心是扩散炉,它将高效的加热元件与简单的设计相结合,实现了快速均匀的加热。较大的尺寸允许使用更高效、更强大的加热元件,从而产生更高的温度和更准确、更稳定的温度控制。该炉还配备了双壁绝缘设计,提高了能源效率,消除了热损失,同时在加工过程中保持了适当的温度。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K机能够达到高达900 °C的过程温度,最高可程式温度为1,100 °C。该工具还提供± 2°C的精确温度均匀性,完全符合行业标准。其垂直电梯设计也便于大规模加工。附加的附件如负载锁定、冷却前地球、石英监控器以及多区域温度控制资产,使得TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K模型成为许多制造和集成应用的理想候选产品。此附件套件可帮助加快流程并提高结果。TEL ALPHA 303 I K设备为长期使用和可靠性而设计。其优越的绝缘层可确保温度随时间保持均匀,并且其节能模式可控制系统产生的热量。延长加热器的化学寿命也有助于降低化学品成本。在维护方面,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K单元提供了简单易行的检测程序。其模块化设计可确保在最小停机时间内实现最大性能。总体而言,TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK机是一种可靠、高效、灵活的扩散炉及配件工具,可用于高温处理和集成应用。其优越的加热能力、温度控制和附件套件有助于减少工艺时间和提高效果。
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