二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9273546 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9273546
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Furnace, 12" MFC (N2, NH3, SiH2Cl2, N2O, SiH4) L/L type Heater: VOS-56-003 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种晶圆扩散炉及配套配件,旨在打造高品质的外延层。该303i-K还配有一个广泛的控制程序包,允许在增长过程中完全定制扩散参数以及监测、数据记录和微调的能力。该303i-K包括高性能石英水平管的出色的热均匀性,以确保高质量的epi层。坚固的设计使其具有很高的弹性和耐用性,而现代的加热元件,用高科技合金构成,提供了一个优越的抵抗热冲击和氧化。它还具有对内部环境的精确控制,从而在扩散过程中实现精确的温度、气流和压力分析。该304i-K为电动物料装卸系统以及自动化过程提供了便利,减少了人工时间和人为错误。此外,石英管内的温度监测确保了精确的晶圆温度控制,使用户能够获得最佳的材料性能。自动控制系统连接到304i-K的气体控制单元(GCU),该单元负责监督扩散蒸气向石英管的自动流动。该304i-K附带了一套完全可调的软件选项,允许用户修改其扩散过程的参数。304i-K的加热轮廓也是用户可定制的。该304i-K是半导体铸造厂生产高质量微电子器件和优化其扩散过程重复性的重要工具。304i-K是微电子行业不可或缺的设备,为用户提供了更好的效率和质量控制。
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