二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9274259 待售
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ID: 9274259
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Diffusion furnace, 12"
POLY
VMM-56-002
GFC (SiH4 ,0.1%PH3 / N2, CiF3)
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种扩散炉设备及其相关配件,为高效制造各种电子元件而设计。该炉及其相关部件是任何一家生产半导体技术的公司的主食。这种扩散炉是一种负载锁式炉,其温度范围高达900 °C,均匀度± 50 °C。该炉包括一个可调的两口真空泵系统,配有广泛的安全互锁装置以及关键的真空部件,以确保安全可靠的操作环境。该扩散炉还拥有一台先进的远程监测机,具有高速数据记录,用于精确的过程控制。除了扩散炉外,TEL ALPHA 303IK工具还包括许多不同的配件。其中包括一个晶片盒式磁带、两晶片机器人臂和用于仪表保护的低水平散热片,以确保平稳、安全的操作。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K甚至包括一个加热器盖和加热器底座,通过它可以精确控制空气和氧气,以便精确监控晶圆和零件加工。这个扩散炉的另一个特点是它的手动盒式磁带盒,可以容纳多达32个6"晶圆或一百八十四"晶圆。这款卡带也可以在没有载具甚至机器人臂的情况下操作,让初学者快速学习其简单的一键操作资产。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K还包括两条气线,一个气缸机架和一个可选的气缸机架电动机,可用于单个晶圆定位,以进行精确的温度跟踪和监控。总之,Alpha 303i-K为制造众多电子元件提供了一个高效可靠的模型。其可调零件的范围、高温范围和精确的远程监控设备使其成为任何一家从事半导体技术业务的公司的宝贵设备。
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