二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9281995 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是为半导体晶圆加工而设计的尖端扩散炉及相关元件。它结合了阳极氧化铝管、线性感应加热元件和先进的电脑化控制，以确保优越的晶圆扩散和退火性能。TEL ALPHA 303IK具有700瓦的感应电源,可提供高达2000 °C的线性感应加热。它还带有气体注入系统，可以精确分配各种化学品。这对于优化各种工艺应用的结果非常重要，包括氮化物氧化和植入。熔炉通过高压门夹牢固地装载，确保对晶片施加最大压力，同时防止污染。一个自动化的温度控制系统允许精确和可重复的加热循环，以及为各种工艺步骤设置多个热剖面的能力。此外，内置真空系统确保炉膛内温度和大气的稳定性。为了方便起见，TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K包括晶圆定位器选项，允许将晶圆安全放置到炉中而无需手动装载。晶片盒式磁带最多可容纳十二个晶片，使其可用于各种应用。除了优越的扩散之外，TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK还可以用于氧化物介电蚀刻、反应性离子蚀刻和热氧化物氮化物蚀刻。它包括一个可移动的晶圆盒，允许方便运输和清洁任务。它还具有低温设置，允许熔炉用于快速冷却和退火应用。ALPHA 303IK是一种高性能扩散炉，可用于广泛的半导体晶圆加工应用。它提供了强大而精确的电脑化控制功能，以及晶圆加载的多种选项。它提供可靠、可重复的性能和长期功能,使其成为半导体制造商的可靠且经济高效的选择。