二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9281997 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种带有附件的扩散炉，为半导体加工应用提供全面的解决方桉。它提供卓越的温度均匀性、低功耗和最小的内部污染。它的高级控制和自动化使用户能够精确控制参数,使其非常适合复杂的生产过程。TEL ALPHA 303IK具有双晶片功能,最大晶片直径为16 mm,加热表面为25 mm。它利用2.5 kHz He-Ne激光二极管精确测量温度，能够将晶片连续加热至高达1200°C的温度。它还具有一系列辅助组件，如灯具加热器/烘干机、自动晶圆处理机器人、晶圆移动器/旋转级和层流罩，这些组件可以组合起来提供完整的半导体处理解决方桉。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K还配备了正常运行时间准备技术，在操作过程中便于设置和生产率监控。直观的用户界面和自动配方优化有助于减少编程错误并确保一致的高质量结果。基于臭氧的清洁模块能够彻底清除晶片表面的污染，从而防止加工过程中黑色残留物的堆积。智能热控制器提供精确的温度控制和均匀性，让用户降低功耗，提高产量。内部部件的设计可提供长期的可靠性,并涂有特殊的耐用材料,以帮助减少维护问题。高性能泵减少采样时间，并提供气体快速扩散到系统中。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK内置了防止意外接触有害气体的安全措施，通风良好的设计有助于确保安全的工作环境。最后还包括自动解锁系统，确保机器在没有适当授权的情况下无法打开。总之，TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种先进的扩散炉，配有提供优异的温度均匀性、低功耗、最小污染和可靠性能的附件，是半导体加工应用的理想选择。