二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9281998 待售

ID: 9281998
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Furnace, 12" MTO 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种扩散炉及其附件设备,设计用于制造先进设备。它是一个高效、可靠且功能强大的系统,有助于确保设备生产质量,并具有卓越的钝化性能。TEL ALPHA 303IK单元带有一个主扩散炉和一个高抛光室壁,以及它的附件组件。扩散炉以一系列适合各种半导体基板的陶瓷和合金材料为特色,确保所生产的每一个装置都具有最高的性能水平。该机还具有先进的温度控制功能,可以准确精确地控制加热温度,并确保基板损坏或缺陷最小化。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K工具具有快速除气的抽气资产。该模型的主要附件部件是其熔炉机器人,该机器人能够有效地实现晶圆装卸过程的自动化。它有一个专门的移动臂,能够将晶片精确定位到炉中。炉机器人还具有灵活的设计,可以容纳任意大小的晶圆,并具有快速的装卸循环时间。该机器人还能够进行高精度对准,以获得最佳的均匀性和屈服。TEL ALPHA 303 I K设备还包括控制气流的偏振快门系统。该装置设计用于最佳氧化/还原控制和精确气体输送。快门机还有一个反应迅速的调节工具,允许用户调整快门宽度,以满足每一个设备制造过程的需求。最后,ALPHA 303IK资产附带ALTAIR集成软件模型。该设备采用了一系列专门的软件算法,可以优化流程窗口,以获得最高的性能和设备产量。软件系统还简化和自动化流程控制功能,并为用户提供许多有价值的报告和图形显示,使他们能够实时监控其设备制造结果。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K是一个强大而可靠的设备制造单元,具有主扩散炉及其附件组件。该机器效率高,具有卓越的钝化性能,而其高级功能和软件工具简化并自动化了设备生产过程。
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