二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9282001 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种先进的扩散炉和配件,具有先进的热处理和增加的工艺范围。这种扩散炉能够处理各种材料,如包括硅、的底物、、砷化的、氮化的。这个扩散炉还带有先进的控制,包括坡道和浸泡选项,以及一个可编程的温度和气体流动剖面。随附的配件提供了广泛的基板,可用尺寸从25毫米到300毫米不等。出入口的综合大小可提供400至1100ᵒC之间的最高工作温度范围。TEL ALPHA 303IK包括过温警报、金属污染检测和气流监控等保护功能。它还具有高性能的自动化清洁周期,便于维护。扩散炉采用可调腔室深度和晶圆支撑系统设计,允许整个过程中均匀均匀的温度分布。扩散炉还配备了自动防溢出装置和主动冷却系统,确保了安全和最佳的温度控制。另外,扩散炉可以被编程为在基质上沉积磷、砷、氮和其他材料,或者进行特定的基质杂交过程。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的独特设计使其成为新兴纳米技术和MEMS产品的高精度工具。集成的先进智能过程控制技术确保了过程结果的重复性和重复性。此外,TEL Alpha 303i-K扩散炉还提供用户友好的功能,从而减少了手动设置更改所花费的时间和精力。TEL ALPHA 303 I K提供卓越的过程控制,已经过预先测试和认证以符合国际安全标准,并有制造商保修作为后盾。它是寻求优质可靠扩散炉及配件的企业的理想选择。
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