二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9297192 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种适用于高温退火、CVD、杂质扩散等通用工艺应用的扩散炉及配件。该炉具有多种创新特性,具有可靠、高质量的性能.炉膛温度最高为1000C，加热和冷却速率可从10C和1200C/min调节。该腔室由重型石墨材料构成，具有高效的热电阻率和电阻率。这种腔室结构可确保在整个温度范围内最高温度均匀度为+/-5%。扩散炉还配备了实时温度控制系统，具有组合控制器和具有独特自动调谐功能的PID。这样可以确保精确的温度控制,并在整个温度范围内产生高度均匀的结果。TEL ALPHA 303IK的腔室配有温度探头和气体入口，气体路径设计为防止堵塞，并提供优越的气流均匀性。还有一些特殊的通风孔来减少可能污染晶片的蒸发污染物。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K还设有石英旋转船架和装载机系统，最大容量为100晶圆。石英架非常适合提供均匀性和热分布。旋转架还确保晶片均匀展开以增强均匀性。TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K还设有一个可以从外部加载的大视图窗口。这非常适合监测过程温度和手动调节温度而不打开腔室。炉子还有一个石英基板加热器，可以独立控制，允许整个炉子精确加热。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K具有精密的工程设计和独特的特性,为扩散过程提供卓越的质量和性能。用户友好的界面，结合高效的热电性能，确保可靠和质量的结果。这是寻求高精度扩散炉系统的任何实验室或专业机构的理想选择。