二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381804 待售
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ID: 9381804
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Furnace, 12"
MTO
Heater type: VMM-56-002
Gas: Pure N2, SiH4, N2O
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是半导体制造的优质扩散炉及配件。该设备的热处理温度可高达1200 °C。采用先进的扩散炉结构，使其具有超长的使用寿命和与生产中大多数材料的一致性。该炉具有最先进的安全装置、快速加热电源和先进的排气系统，共同保证了安全运行和更好的效率。TEL ALPHA 303IK扩散炉设计有三个主要部分，称为腔室。三室包括预载室、加工室和载荷锁室。预载室装有由感应电源、温度控制器和高真空阀驱动的加热元件。所有这三个腔室都是隔离、密封的，为执行不同类型的热处理提供了受控环境。加工室设有无湿室、红外加热器、电绝缘和石英管。该腔室用于控制热过程所需的温度和环境。负载锁室提供了必要的转移室和压力平衡。如果有运输要求，这是必要的。为了保证质量和生产标准得到维护，TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K配备了一套传感器。这些传感器包括热电偶、压力传感器、高温计、温度控制器和电气测试仪。利用这些传感器，操作员能够通过监测基板表面的所有条件来实现最高的精度和效率。安装在ALPHA 303IK上的散热器装置装有四个石英灯，能够精确吸收和传递热量，能量损失最小。这种散热器确保热处理的稳定性，在刀具内均匀的温度曲线和较少的热循环以减少晶片或基板上的应力。最后,ALPHA 303 I K的设计适合大多数生产场所,因为它具有紧凑而坚固的框架。控制器、煤气管线和冷却水线都融入了主体。这种类型的构造还减少了执行设置所需的时间,同时也降低了总体成本。总体而言，Alpha 303i-K是用于半导体生产的高质量、高效的扩散炉和配件。这台多功能机组配备了最先进的安全装置、快速供热电源和先进的排气资产。它设计有一套三个腔室，可以安全转移，温度和压力控制。最后，该型号具有独特的散热器设备，结构紧凑，便于在任何生产现场安装。
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