二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381807 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K扩散炉是一种最先进的热处理系统，能够对各种半导体材料进行精确的热处理。该系统设计为能够在可控的热环境中对基板进行高温退火。该303i-K拥有分布均匀的加热区域和易于操作的面板,可为用户提供多种工艺选择和温度,最高可达1200 °C。扩散炉可容纳两英寸到五英寸的晶圆，并且能够垂直加热，这一过程由于改进的热流模式而产生更好和更一致的结果，垂直加热也有助于保护基板表面不受氧化。机器的互锁前门确保在使用过程中完全安全，并确保炉子在进入前适当冷却。此外，303i-K提供快速的冷却时间，并可以用盖快门，这有助于减少表面的氧化密封。各种附件可用于补充TEL ALPHA 303IK的操作，包括炉板、线圈、限位开关和温度监测电缆。可以选择多种元素，以方便所需的温度设置、脉冲循环和室内的均匀温度分布。303i-K的高级动力学控制（Advanced Kinetics Control，AKC+）软件也有助于精确控制每个参数，准确跟踪过程结果。这允许用户微调流程以获得最佳性能和最大吞吐量。另外，该机还具有两个用于测试晶圆电阻的原位电触点，可用于直接评估熔炉的工艺结果。总而言之，TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K提供可靠、精确的热处理能力、用户友好的设计、高温加热以及多种材料基材尺寸。结合精选功能齐全的配件和软件，303i-K是各种高科技应用的理想扩散炉。