二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381809 待售
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ID: 9381809
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Furnace, 12"
MTO
Heater type: VMM-56-002
Gas: Pure N2, SiH4, N2O
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种最先进的扩散炉，是进行半导体研发的人的理想工具。该装置的特点是石墨敏感器被石英室包围，具有独特的气体分配系统。这个腔室被固定在铝制外壳内的一个强烈的PID（可编程接口装置）控制级，可以进行精确的温度控制。这使使用者能够准确且重複进行材料氧化和扩散等过程。TEL ALPHA 303IK具有三个密封加热元件,利用双壁石英管以及强大的涡流发生器和冷却系统。这样就可以在1,500 °C的温度下进行严格的温度控制,并实现均匀的气体覆盖,从而获得更加一致和可靠的结果。此外，可以用不同材料制成的磁感器代替磁感器，以扩大可用工艺的多样性，如阳极氧化、共晶技术、SiC气相沉积等半导体工艺。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K包括等离子体控制单元、气流控制器、传感器单元、样品热/冷控制器和紧急关闭系统等其他组件。这样可以确保安全并防止损坏设备或样品。此外,炉子的内置PC在创建后可用于节省多达128个程序,从而使用户能够轻松高效地访问其测试参数。ALPHA 303 I K是半导体工业中广泛应用的理想选择。它的特点使其成为一种强大的工具,可实现高产率的复杂、高性能的设备,如高密度晶体管、内存芯片和需要极高精度的处理器。这导致了更高的器件性能，并强化了TEL ALPHA 303 I K作为目前市场上最可靠、最精确的扩散炉之一的声誉。
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