二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381810 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是专门为快速热处理（RTP）而设计的扩散炉及附件组合。这个定制的解决方桉包括温度控制设备、负载锁定系统和顶部加载过程室。它是高度可靠的，具有先进的精度和稳定性，允许用户在他们的RTP过程中达到优越的统一性和最佳的结果。TEL ALPHA 303IK的温度控制单元由一个大的彩色触摸屏界面组成，可以方便直观地操作炉子的加热和冷却循环。该机可编程为300-1200 °C运行，可调坡道速率高达200 °C/min。该控制工具还利用PID算法进行快速温度调节，从而实现了更高的精度和可重复性。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的温度范围是为低压操作而设计的,可最大程度地降低过程中表面质量的下降。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK的载荷锁定资产旨在提供基板快速高效的载荷进入腔室，而无需冷却和加热模型。这确保了用户可以在保持一致温度状态的同时最小化热循环时间，从而防止对复杂工艺模块和不稳定基板的潜在损害。这种设备的另一个好处是，它能够快速互换零件，进一步减少周期时间和维护成本。ALPHA 303 I K的顶载式处理室是专为RTP而设计。该系统精度高，均匀度约为2至5°C/区，每次都可重复可靠的结果。该腔室还设计为减少冷却时间，允许更快的周转测试运行之间。此外，腔室尺寸是可定制的，允许任何表面积用相同的曝光处理。ALPHA 303IK是一个完美的RTP单元,它为您的热处理需求提供了精确度、速度和可扩展性的最佳组合。凭借先进的温度控制机、负载锁定工具和顶部加载过程室，这一资产对于在各种热过程中取得优异的效果至关重要。