二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381817 待售
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ID: 9381817
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Furnace, 12"
MTO
Heater type: VMM-56-002
Gas: Pure N2, SiH4, N2O
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种扩散炉及其相关配件，设计用于半导体器件制造及相关行业的各种应用。它是为基板的精确和高效热处理而设计的工具。TEL ALPHA 303IK有一个直径12英寸、高度8英寸的大型加热室，允许大量基板同时处理。该设备通过间接石英灯加热，以提高波长的均匀性并改进人体工程学。炉顶板由线性级操作，允许精确的运动控制和精确的晶圆定位。底板由电动四轴级操作，使加热室温度得以精确调整。该系统配备了基于Lucent Technologies Guardian以太网的高级自动化控制器,可实现远程和放手操作。控制器还具有直观的图形用户界面,可提供简化的监控和过程控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K利用加热的感受器在高达1200摄氏度的温度下进行加工，并具有自动倾斜功能，能够在保持均匀底物温度的同时进行旋转运动。为了便于冷却操作，炉子有一个氦气强制冷却单元，在加工完成后迅速冷却腔室。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K配备了高密度的碱液蒸发器，以提供优越的均匀膜沉积。该机还与各种先进的氧化物去除工艺兼容，以提高介电性能。该仪器包括一个真空化学气相沉积工具，能够沉积具有均匀特性的金属薄膜以提高产量。所有这些组件都与基于命令的软件打包在一起,以便于自动化和集成到客户系统中。总体而言，ALPHA 303IK是晶圆加工和金属沉积的完整工具，非常适合半导体器件制造和其他与电子相关的行业。这种资产可以提供准确、高效和可靠的热和化学加工，以获得更高的产量。
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