二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381821 待售

ID: 9381821
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Furnace, 12" MTO Heater type: VMM-56-002 Gas: Pure N2, SiH4, N2O 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种高精度扩散炉及相关配件,为可靠准确的生产而设计。该303i-K采用先进的三区管状炉设计和定制的集成波纹管,以创建一个统一的温度轮廓,以优化过程控制。这种卓越的工程和现代特性的结合使得303i-K非常适合广泛的应用要求。TEL ALPHA 303IK的高级工程提供了多种令人印象深刻的功能,可优化过程控制和热性能。它具有高效的陶瓷加热元件结构,能提供出色的隔热性能。这种设计减少了热量损失,并允许有效的热控制。此外,集成的不锈钢波纹管可确保整个炉膛的温度分布均匀。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的先进设计提供了卓越的工艺稳定性和一致性。基于微处理器的集成控制设备可确保扩散过程中所有点的精确温度。其集成的空气冷却系统能够从热冲击中快速恢复,这有助于最大程度地减少过程停机时间。控制单元还提供重要的过程自动化和数据存储能力。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK包括一系列精密配件,以确保最高的效率和精确度。定制的负载锁、工艺室和工艺支持系统可用于满足特定的应用程序要求。标准配件包括热控制器、质量流量控制器、采样器、氦气泄漏探测器和安全系统。为了维护和维修,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的设计考虑到了方便访问。炉膛便于检查,模块化加工室便于快速和简单的修理。智能控制机提供详细的诊断,并协助故障排除和维护过程。总体而言,Alpha 303i-K是一种最先进的扩散炉和附件包装,设计用于精确和可靠的制造操作。ALPHA 303 I K凭借其先进的设计、集成的控制和精密的配件,是各种工艺应用的完美解决方桉。
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