二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381826 待售
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ID: 9381826
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Furnace, 12"
MTO
Heater type: VMM-56-002
Gas: SiH4 / N2O
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K扩散炉是一种用于高质量、精密晶圆制造的工具。它是一种多区炉，具有先进的晶圆转移和涂层设备。它由两个腔室组成：热区和冷区.加热区是进行升华和蚀刻过程的地方；冷却区是晶圆冷却并形成氧化层的地方。先进的晶圆传输系统允许对每个过程的扩散参数进行精确和可重复的控制。TEL ALPHA 303IK具有高效的加热单元，热区由红外灯实现。该灯位于石英管内，允许用户设置受控温度范围。该灯发出可见光和红外辐射，在工艺室内被硅片有效吸收。该机还通过分别控制每个区域的加热速率和冷却速率来提供对热剖面的精确控制。此外，先进的两区温度控制（TZTC）功能允许精确控制热区和冷却区的温度，提供室内均匀精确的扩散速率。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K也能够进行高度精确的蚀刻和升华过程。其先进的涂层工具允许薄膜和层的精确沉积，以及硝化和蚀刻过程。集成的沉积头可以处理各种晶圆尺寸，从200毫米到300毫米不等，以及不同的厚度。集成的石英室在加工过程中提供清洁的环境。资产还配备了几种安全功能，既保护用户又保护型号。其中包括允许用户从外部监视所有扩散参数的液晶显示屏，以及在紧急情况下可以快速关闭设备的紧急停止按钮。TEL Alpha 303i-K扩散炉是晶圆加工的一种先进、精密的工具.它采用了高效加热系统、两区温度控制和集成石英室等先进技术。这允许精确的沉积和蚀刻过程，以及氮化和升华过程。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK具有先进的功能,能够提供高质量、精确的晶圆制造,是任何开发和生产实验室的绝佳选择。
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