二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381848 待售
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ID: 9381848
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Furnace, 12"
Process: SiGe Poly
Heater type: VMM-56-002
Gases:
SiH4
10%GeH4/H2
1%BCl3/N2
ClF3
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是为工业和实验室市场的广泛应用而设计的高端扩散炉。扩散炉是一种用途广泛的设备，旨在高效、可靠、安全地加工半导体晶片。TEL ALPHA 303IK具有由多个腔室组成的高级晶片处理系统,允许多个进程步骤单独或同时运行。该机组拥有先进的3区加热机，使用高功率、多级晶闸管电源，独立加热腔室。晶圆载体是一个加热平台，机械耦合到加工室，使得晶圆加工过程中温度曲线一致。该工艺室设计有一个直接辐射管，能够达到高达1200 °C的温度进行扩散或氧化过程。密封工艺室还设计用于低颗粒计数，使其成为各种需要清洁、无污染环境的应用的理想选择。此外，腔室设有先进的冷却工具，允许过程腔室快速冷却，并使腔室快速恢复到预先编程的环境温度。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K能够维持高达一个大气层的压力，并持续监测资产的大气纯度，以及过程室的压力。此外，使用者能够控制製程室的氧气浓度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K设计具有广泛的用户友好功能,如进程运行的记录保存、多晶圆尺寸的可编程性和配方存储功能。它还配备了高级安全功能,如果工艺参数超出其预先编程的限制,模型将自动关闭。总体而言，Alpha 303i-K是适合各种工业和实验室应用的理想扩散炉，提供先进的晶圆加工能力和增强的用户友好性。这种设备将提供非常准确和可靠的结果，使晶片的处理效率很高。
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