二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381855 待售
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ID: 9381855
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Furnace, 12"
Process: D-Poly
Heater type: VMM-56-002
Gas: SiH4, 0.1%PH3/N2, ClF3
FUJIKIN Air valve
STEC: MFC, MFM
Load lock
Missing parts:
(2) Hard Disk Drives (HDD)
Quartz wares
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种最先进的扩散炉,其附件旨在在开发和生产环境中提供可靠、准确的过程控制和灵活的使用。TEL ALPHA 303IK非常适合在半导体工业中的应用，如薄膜的沉积、退火和扩散。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K配备了精确准确的过程控制器，允许在整个过程中有更大的控制和一致性。该炉采用内部反馈系统和先进的控制技术来维持热量需求，即使在快速变化过程中也能保持均匀的温度条件。这确保了每个流程的高质量输出。Alpha 303i-K专为实验室和工业应用而设计。它是一种用户友好的扩散炉，具有计算机控制的功率调节加热系统，用于精确可靠的处理。这样就可以配置整个加工区的均匀加热，即使样本量很大。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K配有附件，包括氮气净化装置、样品架、大容量石英船和陶瓷喷嘴，用于精确和可重复的喷射传送。氮气净化装置有助于降低要求苛刻的过程所需的氧气含量，陶瓷喷嘴和石英船相结合，以确保工艺气氛均匀。TEL ALPHA 303 I K还兼容直径达200 mm的SEMI Standard晶片和其他样品尺寸，允许最大限度的使用灵活性。它还提供了方便的装卸区域，以减少系统设置和运行过程中的劳力。总之，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK是一种高性能的扩散炉，其附件在开发和工业应用中都具有精确度和准确性。它提供出色的控制和用户友好操作,以及一系列令人印象深刻的附件和设置,以确保过程的一致性和可靠的输出。
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