二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381862 待售
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ID: 9381862
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Furnace, 12"
Process: DCS-HTO
Heater type: VOS-56-003
Gas: NH3 / SiH2Cl2 / N2O / SiH4
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种扩散炉及配件，用于生产微电子工业中的多晶硅晶片。该单元的设计允许快速热处理和快速冷却，使其适合广泛的应用。它有一个装在耐用钢制外壳中的大腔室和有助于减少热损耗的高效空气挡板设备。大腔室能容纳多达1000个晶圆。TEL ALPHA 303IK有几个不同的区域和电极，每个区域和电极被设计成在加热和冷却过程中发挥特定的作用。这包括一个可以在摄氏250-1600度范围内调节温度的加热区。还包括一个可调从0-125摄氏度的冷却区，使已经加热的晶片能够快速冷却。热区以离子束枪为特色，能够精确控制温度和离子，导致晶圆上离子分布均匀。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K具有耐用的不锈钢外观和真空密封单元，适合在洁净室环境中使用。它还设有先进的安全系统，监控和调节炉温和压力，防止过热，有助于延长机组寿命，提高产品质量。控制单元还包括一个液晶显示器，允许用户监控机器中的温度和压力。除了热处理能力外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K还附有几个配件，可以帮助优化工艺。其中包括离子源、隔离屏蔽和遥控器，所有这些都有助于提高工艺的准确性和减少工具中的污染。总体而言，Alpha 303i-K扩散炉及其配件是一种先进的热处理设备，适用于一系列的应用。其特点和附件使其成为生产优质多晶硅晶片、减少污染和最大化效率的可靠工具。
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