二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381863 待售
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ID: 9381863
晶圆大小: 12"
优质的: 2009
Furnace, 12"
Process: DCS-HTO
Heater type: VOS-56-003
Gas: NH3 / SiH2Cl2 / N2O / SiH4
2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种扩散炉和附件,其设计目的是提供最高的温度精度和均匀性。这种独特的设备是业界领先的扩散炉溶液,具有先进的嵌入式控制技术(AEC),用于控制热通量、对流、温度分布等。TEL ALPHA 303IK采用三区双高压强制对流热板设计,具有良好的温度均匀性和高精度温度控制,可用于生产和研究。强制对流配置可确保在从室温到1050°C的广泛温度范围内进行受控、均匀的热处理。该炉配备了功率中断保护、步长± 1°C的高精度温度调节、可调节温度范围高达1400°C的内置高温计、先进的AEC系统等多种特点,提供卓越的工艺稳定性和产品均匀性。AEC单元允许在设定点温度下进行精确的温度控制,在单个区域环境中具有出色的温度均匀性和热通量。通过直观的控制面板,您可以快速调整多个用户应用程序的流程参数,从而完善了计算机。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K还提供了一种高度精确的气体输送工具,以确保氮气和溷合气体过程的近距离公差。这与强大的安全和警报功能相结合,提供了高度的过程控制和操作员安全以及广泛的扩散过程。该单位可作为个人购买或作为综合扩散资产使用。集成封装包括TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K、单区或多区控制器、隔热室以及惰性气体、反应物和保护性气体的供应线,以及用于高效热处理的石英组件,以及实时操作员监督的监控和分析。总之,Alpha 303i-K是一种先进的扩散炉及其附件,具有广泛的特点,以满足各种温度敏感应用的需要。其先进的AEC模型、温度均匀性和精确的过程控制使其成为任何需要可靠和高效温度处理的实验室的理想选择。
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