二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9390670 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 是一种扩散炉及相关配件，可提供高达3°C的温度均匀性、可重复性和稳定性，同时允许用户保持高达1,000 °C的最高炉温。该设备提供多种材料的高温扩散沉积和加工，如多晶硅、钨、硅化物和沉积高温介电（HTD）膜。该装置设计有一个减少化学物质污染的防污染空气管理设备。TEL ALPHA 303IK提供了广泛的特性和功能,包括晶圆级热均匀性反馈,该反馈能够自动控制± 3°C内的温度。以及高达10%传热效率的搪瓷电缆、先进的电气控制系统以及广泛的保护性联锁装置，以确保安全可靠的操作。扩散炉还提供高温石英船，最多可容纳五个6英寸晶圆和优化的单元控制效能。该装置还包括独特的喷嘴设计，其规格和特点经过优化，可用于更高的热量提取，并提高了均匀性、可重复性和稳定性。扩散室被封闭在一个DLC涂层中，该涂层提供了一种保护性的耐化学性和增加的隔热性能，以确保一致的晶片对晶片的均匀性。为进一步保证机组的坚固性和耐用性，炉体采用双壁绝缘机设计。该单元还提供了一个易于使用的交互式图形用户界面（GUI）,允许用户从远程PC或手持设备访问、监视或控制该工具。通过传感盖，该单元还提供实时炉大气控制、监测和报告。此外,该资产能够在单个软件包中提供温度记录和温度控制,并且所有模型参数都可以存储在内部内存中,以便进行召回、参考和比较。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K是一种高度先进的高温扩散炉，使用户能够方便准确地快速加工材料，污染风险最小。此外，设备还配备了便于自动控制的功能，并为用户提供了广泛的功能和功能。因此，该单元适合在广泛的行业中处理广泛的材料，如半导体、太阳能电池、平板显示器、LED和其他光电元件。