二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394521 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是为精确晶圆和基板制造而设计的扩散炉及配件系统。适用于广泛的任务，包括退火、氧化、硼掺杂、金属合金等。具有多种功能的先进自动控制系统，保证了顶层精度和可重复性。TEL ALPHA 303IK配备了高性能电源和先进的温度控制模块，以确保精确的温度控制。炉的温度范围从室温到1100 °C，在± 1 °C时具有最高的温度稳定性。通过精确的PID自动温度控制来确保温度控制。该单元有一个可选的晶圆传输模块，可用于工艺和冷却阶段之间的快速基板交换。快速晶圆交换使晶圆在转移过程中的损伤最小化，提高了整体生产效率。该机组还配备了安全功能，如过温报警、自动吹气功能、过程监控系统等。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K提供了先进的过程控制功能，例如用于精确温度控制的多位置控制电路。可编程输入/输出界面允许用户严格控制配方、温度、压力和时间等过程参数。此外还具有自动压力控制功能，使源气利用率最大化。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K采用物理气相沉积工艺，以确保可重复和保形膜沉积。该腔室设计用于均匀地分布源气体，并在基板上产生高度均匀性。这样可以确保基板均匀涂覆,并达到所需的深度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK是一种可靠高效的设备，适合广泛的行业使用，如半导体制造、光伏模块、MEMS制造。适用于中低层次的制造需求，提供世界级的精度、稳定性和可重复性。