二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394526 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种扩散炉及附件封装设备，用于将多种半导体材料沉积在晶圆等基板上。它是一种先进的数字控制垂直炉系统，支持多循环工艺配方编程。该单元非常适合高精度扩散和/或掺杂应用任务。TEL ALPHA 303IK采用垂直轮廓设计,可达到高达1100 °C的最高温度,整个工作区域的温度稳定性和均匀性±为1 °C。这是通过对炉内大气分布的精确电控制来保证的。在安全性方面，TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K设有三重消音室，以防止潜在的氧化或污染。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK以高通量运行，能够处理多达15个晶圆的批次，每个多循环配方最多32个晶圆。它还能够与选择的气体一起操作，允许根据需要与N2、Ar、H2、O2等掺杂。该机真空循环为-7 torr，泄漏速率特性小于1 x 10^-7 pa，TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K还包括多个辅助扩散过程的配件。其中包括等离子体发生器、石英烤箱、颗粒过滤器和安全过滤器。该工具经认证符合SEMI3、S2和ESD安全标准。此外,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的功耗约为13kW,占地面积为78.7 x 80.3英寸（2 x 2.04米）。总体而言，TEL Alpha 303i-K是一种先进的数字控制垂直炉资产，为扩散和/或掺杂应用任务提供卓越的性能。配备了一系列配件，并经过认证，符合严格的安全标准。此模型非常适合那些寻求可靠、高性能解决方桉以满足其扩散需求的用户。