二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394982 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种高性能的扩散炉及配套配件。它设计用于工业应用，如金属硬化、半导体制造和太阳能电池生产。其结构由一个用于加热真空的隔离室和一个容纳扩散炉及附件的框架组成。腔室由不锈钢製成，提供高热稳定性。其内部容积最多可容纳八个晶圆。TEL ALPHA 303IK配备了SmartAligner 2.0系统，该系统使用介电滤波器轻松将浸入式透镜对准晶圆。它还具有先进的光学元件,以提高图像质量。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的扩散炉有一个双源升华加热器，能够进行一定范围的温度控制，从室温到600 °C。二次加热元件在低温下工作时提供额外的灵活性。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K配备了多种配件，包括真空泵和隔热装置，以提高基板的均匀性。它还具有一个涡轮泵快速撤离腔室和一个热电偶用于测量腔室内的温度。此外，ALPHA 303 I K包含用于管理过程参数，如温度和气流，以及用于控制晶圆负载的集成软件。建议使用该软件分析工艺结果，优化设备运行。Alpha 303i-K是一种可靠、高效的扩散炉及配件，适用于一系列工业应用。它具有隔离腔室和先进的光学元件，以提供精确的温度控制，而其集成软件提供更大的控制和工艺优化。