二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394986 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种扩散炉及附件。该扩散炉采用独特的双口袋设计，有助于优化原位源气体循环，在扩散过程中提高了源效率和良好的均匀性。它有一个热壁装载室，中间有一个单独的热区，允许单向向内源气流经源入口。这反过来又形成了一个有效的流动模式，增加了均匀性以获得更好的工艺结果。TEL ALPHA 303IK的双口袋设计也最大限度地减少了源袋和腔室其余部分之间的热梯度，以最大程度地减少静压波动，并使氧化铝和铝掺杂剂的沉积更加稳定。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K还具有易于使用的可编程控制器。该控制器最多可实现四步可编程中子通量调制。因此，它可以快速响应源活动的变化，同时在整个晶片上保持均匀的源浓度。控制器还允许以± 2°C的精度控制高达4个区域的温度,确保在扩散过程中精确保持温度。该扩散炉设计为节能，采用三热级热处理方法逐步回收预热温度，允许用户将回收时间从0分钟调整到40分钟。它还具有一个内置的自动回收功能，可以监视各种操作参数并自动将炉子恢复到指定的启动状态。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK配合了一系列安全特性，以确保操作时的最高安全标准。它配备了腔室泄漏检测开关、热电偶破损监控、辐射防护装置、互锁安全系统和紧急关闭系统，都有助于保证可靠运行。此外，还安装了入口过滤器，以阻止颗粒和其他污染物进入室内并破坏扩散过程。总之，TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK是一种具有显着可靠性和高能效的扩散炉及其附件，旨在保证稳定运行和最佳效率。其原位源气体循环、通量调制可编程控制器、节能热处理、综合安全特性等都使其适合微电子扩散。