二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394987 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种用于半导体制造业的扩散炉及其配件。TEL ALPHA 303IK是一种高效、低维护和高性能的扩散过程解决方桉。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K利用线性喷嘴加热设备，确保整个晶圆的温度分布均匀。由于其精确的温度控制,它也提供了极好的晶圆均匀性.该系统配备了高温石英加热器，保证了一贯的最佳热条件。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK利用了专有的数字加热单元,该单元结合了创新功能以实现均匀的热传递、改进的过程控制和最高的可靠性。该机具有独立的温度层次控制、脉冲加热控制、局部热循环补偿等特点，具有最佳温度性能。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K提供了许多额外的优势，例如用于精确和恒定气体流动的气体分配板、用于设置适当气体管线压力的可调气体流板、减少非临界热量周期以及精密的测量功能。此外，该工具最多有15个加热级，可以分配给不同的温度范围。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK旨在提供高度精确的过程结果并确保可重复的过程控制。温度范围从200-1100摄氏度不等，温度均匀性异常高。此外,其高级控制器还具有简洁直观的用户界面。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的扩散配件也提供了最佳工艺质量的最佳条件。这些附件的特点是使用热电偶控制排气管线温度的主动排气组件、气隙排气阻尼器和排气供应控制，以确保正确的排气流量。它还提供自动清洁和熔炉维护功能,以及嵌入式记录和报告功能。综上所述，ALPHA 303IK是一种优越的扩散炉及其附件。其特点提供了卓越的温度控制、高均匀性、出色的工艺稳定性以及高效的排气维护能力。所有这些功能保证了最高级别的工艺质量和生产率。