二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394990 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一种精确可靠的单晶圆扩散炉及附件设备，用于半导体制造过程。具体而言，该303i-K可用于各种材料的退火、掺杂剂扩散和结晶过程（例如硅片、砷化氙片等）。该炉采用红外加热系统，产生高精度和均匀的温度计，从而可以缩短热循环时间。此外,304i-K还具有一个强大而灵活的选项集,允许用户一次执行多个进程。这包括同时运行多个晶片、自定义温度曲线,以及根据材料的不同,氧化物或氮化物退火的选项。该303i-K带有一个独特的桶装卸单元，使多个晶片可以同时装卸。此外，室内温度稳定快，确保快速循环冷却和退火过程。机器还有一个监控工具，使工程师能够观察晶圆处理步骤，实时检查工艺条件状态，以减少晶圆故障，防止工艺污染。为了确保最大限度的安全，303i-K以清洁的空气资产运行，从而创造并保持保护气氛。这在腔室中保持一个可控的清洁水平，也有助于减少晶圆的降解。此外,模型还对其功能进行自我诊断,这有助于操作员在性能问题发生和造成损坏之前确定其性能问题。在规格和性能方面，303i-K具有高达十二英寸晶圆的装载能力，在100,000-1400°C的温度范围内运行。该炉还配备了软件控件，为用户提供编程选项，如最大加电、最大降频、可变热坡道等，以实现更大的定制。总之，TEL ALPHA 303IK是一种精密的单晶片扩散炉及附件设备，具有多种特点，旨在使退火、掺杂剂扩散、结晶过程安全高效。