二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9411634 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是为各种工业应用而设计的扩散炉，包括半导体器件加工和工业加热，以及用于研发。TEL ALPHA 303IK是一种坚固、耐用、可靠的扩散炉，配有高性能的加热和冷却系统。它包括一个创新的钟形外部结构，一个均匀的热轮廓和均匀的停留时间，和一个可选的可编程自动提升机构精确温度控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K具有精确的温度控制功能，在所有尺寸的晶圆中高达1100 °C，具有极精确的温度均匀性。它还提供快速冷却、自动盖子位置内存和高级安全功能,以防止在高温下发生意外的长时间操作。一个可选的"堆迭晶片套件"可用于在一个炉子循环中对一层或两层中的多个晶片进行均匀热处理。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK先进的加热和冷却系统可提供精确、可重复的温度剖面,以满足一系列工业需求。功率输入可调节至10 kW，输出至晶圆的功率可调节至2 kW。ALPHA 303 I K还有一个内置气体扩散系统，用于高度精确的干蚀刻和/或离子植入过程。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的用户友好界面和强大的数据分析软件有助于简化设置和操作,同时提供强大的功能。该软件允许用户快速设置操作，保存经常使用的设置组合并使用标准配方操作，以及同时操作多个熔炉。TEL Alpha 303i-K坚固的结构使其能够在工业环境中可靠地运行,而其广泛的安全功能,如滞后驱动的气体关闭、可调节的高温保护器和紧急停止按钮,可提供可靠的保护,防止不受控制的过热或过压事件。总体而言，ALPHA 303IK扩散炉为一系列工业应用提供可靠、精确的热处理。其创新的钟形外部结构、优越的温度控制、快速冷却、广泛的安全特性、先进的气体扩散系统、集成的用户友好界面以及强大的数据分析软件，使其成为温度临界过程的理想选择。