二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN #9381859 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-KVCN扩散炉和辅助设备为包括硅片和复合半导体材料在内的先进热工艺提供了多种选择。它是一个可靠和坚固的系统，为热过程的可靠性和可重复性而设计。TEL Alpha 303i-KVCN支持精确的温度控制,还提供许多其他功能,使其成为更先进的系统之一。该单元由一个可通过可移动的检修面板方便维修人员使用的主室、一个中心箱/缓冲室和一个带密封速调管的前端多端口真空门阀组成。主室设计具有较高的绝缘和温度均匀性,可有效控制温度.该机器最多可同时容纳9个2英寸晶圆，非常适合外延、CVD、氧化物和氮化物等工艺。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-KVCN以其先进的温度控制器和压力控制器提供了卓越的温度和压力分布控制。温度控制器提供对主室温度的精确控制，并确保精确的温度以获得准确的结果。温度控制可以根据基材材料和参数定制，从而提高效率，减少人工干预的需要。压力控制器根据工艺特点自动调整压力剖面，优化温度剖面，实现更精确的处理。Alpha 303i-KVCN还配备了许多高级安全功能,使其成为最安全的系统之一。它包括在紧急情况下关闭热源的自动温度控制工具、手动重置的安全保险丝和紧急关闭开关。这些功能保护人员和设备,并确保资产的安全运行。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN还提供了一系列附加附件,可实现更好的工艺控制和更大的灵活性。这些附件包括负载锁定模型、薄膜级样品更换器、自动化过程监控设备和可编程晶片支架。其他可选元件包括光刻系统和晶圆操纵单元。TEL Alpha 303i-KVCN扩散炉附件机是一种可靠、坚固的工具，为各种热处理应用提供了巨大的潜力。该资产通过其先进的温度控制器和压力控制器提供了对温度和压力剖面的特殊控制。该型号还包括一系列安全功能、附加附件和灵活的编程功能。TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN凭借其高质量的构造、可靠性和灵活性，是寻找先进热处理设备的企业的绝佳选择。