二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN #9384011 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-KVCN是一种用于半导体基板和材料开发的扩散炉。它为先进的材料和加工提供了高精度和可靠性。TEL Alpha 303i-KVCN包含一个3区系统，每个系统都有独立的温度控制和单独的气体分配，允许用户为各种基板定制加工。它配有1.0kW电子束蒸发器和图形用户界面（GUI），用于控制所有处理参数。该扩散炉装有一个原位质量流量控制器，使其非常精确可靠。它还使用垂直电阻温度检测器（RTD）和热电偶进行精确的温度控制。自动校准系统可确保最大精度和可重复性。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-KVCN还利用闭环压力控制系统在加工过程中保持最佳腔室压力。这确保了被加工材料的受控反应，提供了可重复的结果。该炉还配有高效的垂直石英钟，以提高温度均匀性和提高工艺产量。它还使用了一种高性能的氧气洗涤器，从腔室中除去氧气，以消除被加工底物的氧化。此外，Alpha 303i-KVCN还配备了一个单晶片转移机器人，设计用于在工艺完成后将晶片从卡盘中移除。它还被设计为与各种不同尺寸的晶片兼容。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-KVCN是一种用于半导体加工的多合一解决方桉，是寻找可靠、精确扩散炉的制造商的理想选择。高精度、最大可重复性和闭环系统保证了统一的结果和优异的产量。