二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293596435 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i氮化物是一种高端扩散炉及相关配件。它是一种多区、单晶片热处理设备，能够进行三维化学气相沉积（CVD）和各种材料的扩散。TEL Alpha 303i Nitride阵容包括高功率氮晶体生长模块，以及氮化物、耐火金属和过渡金属CVD模块。TEL专有的IFEC（集成炉电子控制器）为控制和管理热过程提供了一整套选项。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride设计用于处理最大晶圆尺寸为300 mm的较大晶圆。每个工艺最多可容纳16个晶圆，高吞吐量使其适合大规模生产。该机还提供多种高温能力，从室温到高达1100 °C。Alpha 303i Nitride的"冷却辊"能够快速冷却，有助于在热过程中保护晶片。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride受益于最高纯度的氮气、氙气和其他气体，以达到优越的品质热处理。其机载自动化软件使其易于操作,并有助于高精度地保持生产产量。可选的数字图像处理系统（DIPS）自适应控制氮化物和耐火材料的厚度分布。TEL Alpha 303i Nitride集成了先进的安全功能，包括防止人员受伤的红外安全窗口，以及用于检测和防止气体泄漏的壁挂式安全单元。该炉配有实时监测机，用于监控其烧制温度、压力、气流状况。此外，还提供了一种追踪工具内晶片和石英管的特殊工具。总体而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride是一种高效可靠的扩散炉和CVD资产，非常适合大规模生产。其强大的氮晶生长模块、宽广的温度范围和自动化的系统确保了对热过程的精确控制，有助于最大限度地提高产量。该机包含了许多保护人员和设备的安全特性，使其成为氮化物和耐火金属热处理的理想选择。