二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293638695 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride
ID: 293638695
Vertical furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride是一种扩散炉和配件,设计用于半导体加工应用。该扩散炉的扩散温度范围为1600°C至3000°C,氮环境高达1050 °C。采用原位热电偶测量方法验证并优化了960°CAE的均匀性和最大温度.该炉还提供快速高温坡道和冷却能力,使用户能够节省时间和能源。该扩散炉具有多种先进的特点,支持材料在广泛应用中的加工。它提供了具有高Cpk排名的晶片的高吞吐量,允许用户实现高产率。该炉具有独特的控制器,利用先进的PID和Fuzzy Logic算法进行精确的温度和大气控制。TEL Alpha 303i Nitride的排气系统设计用于限制颗粒物污染并提供长时间的稳定运行。该炉使用设计用于高工艺产量的超低气体压力,以及需要低除气的低温烧结应用。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride采用热墙设计,可提高温度均匀性,并且无需额外冷却即可实现刀具到刀具的传输。它还配有多级环境控制系统,以确保从大气中消除背景气体。Alpha 303i Nitride拥有一系列支持多种工艺的配件,包括氧化物、氮化物和多晶硅沉积、氧化物蚀刻、金属化等相关工艺。此类附件包括静止范围线性运动级、中程线性运动级,以及感应器和先进的温度控制系统。它还配有液晶触摸屏显示屏,使用户可以轻松监控其流程状态。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i Nitride是各种半导体加工应用的完美选择。它提供卓越的性能,精确的温度和大气控制,以及一系列先进的特点和配件。TEL Alpha 303i Nitride以具有竞争力的成本确保高产率,是高级研发项目的理想选择。
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