二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293655836 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-303i氮化物炉是一种高性能的基材加工设备。它非常适合将各种材料扩散到硅和其他半导体基板中，并且能够处理从离子注入到氧化和氮化物应用的半导体器件的所有领域。在技术能力方面，TEL Alpha-303i氮化物炉的最高温度为1250 °C，最大热均匀性为± 5°C。它在70 x 70 mm的区域内也有± 0.9°C的温度均匀性，在140 x 140 mm的区域内也有± 2.2°C的均匀性。该系统能够保持超过150个热循环的热历史,并可用于大容量生产问题。其高度可靠的整体加热器单元可确保± 0.2°C的最高温度控制精度。该机配备了一系列先进的功能，如配有远程观察工具的高温计，以及气流控制资产。这些可以精确控制氮化物和其他加工从腔室到晶圆的水平。氮化物炉也能在温度分解的同时控制掺杂。这是通过操纵氮气流动和硅烷源气体流动之间的平衡来完成的。它还包括一个先进的石英下电极配置，设计用于提高均匀性。TOKYO ELECTRON Alpha-303i NITRIDE炉是一种可靠而强大的基材加工工具.其先进的功能确保了广泛的高精度工艺，并利用了最新的半导体器件和晶体生长技术。其温度控制精度和热均匀性保证了中高批量生产的一致性。它还使用先进的传感器和自动化的控制系统，以确保最大限度的安全和质量的过程结果。